Mattson technology成立于1988年，是世界著名半导体制造设备供应商之一。2016年5月，亦庄国投通过屹唐以约3亿美元收购了Mattson Technolog。公司主要为全球12英寸晶圆厂客户提供干法去胶（Dry Strip）、干法刻蚀（Dry Etch）、快速热处理（RTP）、毫秒级快速热处理（MSA）等设备及应用方案，拥有完整的知识产权。干法去胶（Dry Strip）、快速热处理（RTP）、毫秒级快速热处理（MSA）设备在各自细分领域都位于世界前三。其主要客户涵盖所有位列全球前十的芯片制造厂商。屹唐半导体的干法去胶和快速热处理设备目前已进入5nm逻辑芯片生产线；刻蚀设备也在全球最先进的存储芯片生产线上得到广泛应用。